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RES102多功能离子减薄仪
有2把离子枪,离子束能量为0.8KeV-10KeV,相对位置,可分别±45。倾斜,样品台倾斜角度-120。至210。离子束加工角度0。-90。,样品平面摆动角度<360。,垂直摆动距离±5mm。实际操作参数根据具体应用需要选择
可选配样品台:TEM样品台(¢3.0mm或2.3mm),FIB样品清洗台,SEM样品台,斜坡切割样品台等
SEM样品台可容纳最大样品尺寸:直径25mm,高度12mm
全无油真空系统,样品室带有预抽室,保证样品交换时间<1分钟
全电脑控制,触摸屏操作界面,内置视频观察系统,可实时观察样品处理过程